PZT薄膜

PZT薄膜

PZT壓電薄膜

鋯鈦酸鉛薄膜

鈣鈦礦相PZT薄膜

硅基PZT薄膜

Pt-Si上面的PZT薄膜

PZT壓電薄膜

鍍PZT薄膜膜硅片、SOI片，規(guī)格可滿足4寸、6寸、8寸。

PZT鍍膜產(chǎn)品，具有成膜溫度低、成膜速率快、成膜均勻性好、壓電系數(shù)高、疲勞特性好等特點，廣泛應(yīng)用于MEMS傳感器件，在壓電超聲波傳感器、壓電換能器、壓電執(zhí)行器中得到越來越多的應(yīng)用，是下一代傳感器件的優(yōu)良材料。

同時我們可根據(jù)客戶的需求，定制SOI基片各層厚度及PZT成膜厚度，可進行批量加工。

用途：僅用于科研

類別：鐵電薄膜

相關(guān)薄膜：

ZnO/SiO2復(fù)合薄膜

SiO2/Si襯底制備ZnO薄膜

Ge/ZnO/SiO2薄膜

鈉鈣玻璃基底ZnO薄膜

Ti/Pt/ZnO復(fù)合薄膜

Ti/ZnO/Pt 復(fù)合薄膜

Pt/Ti/ZnO復(fù)合薄膜