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近日，國(guó)家大基金再次出手投資集成電路設(shè)備企業(yè)。 國(guó)家企業(yè)信用信息公示系統(tǒng)顯示，1月7日睿勵(lì)科學(xué)儀器（上海）有限公司（以下簡(jiǎn)稱“睿勵(lì)科學(xué)儀器”）發(fā)生股權(quán)變更，新增國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“國(guó)家大基金”）、上海同祺投資管理有限公司、海風(fēng)投資有限公司3家股東；與此同時(shí)，注冊(cè)資本由1.18億元變更為3.10億元。 根據(jù)天眼查信息，此次國(guó)家大基金等入股后，目前睿勵(lì)科學(xué)儀器的第一大股東為上海浦東新區(qū)國(guó)資委旗下的上海浦東新興產(chǎn)業(yè)投資有限公司，持股比例20.75%；第二大股東為睿勵(lì)科學(xué)儀器董事長(zhǎng)及法定代表人呂彤欣所持有的上海盈贏微電子技術(shù)有限公司，持股比例13.99%。 這次新增的3家股東上海同祺投資管理有限公司、國(guó)家大基金、海風(fēng)投資有限公司依次位列第三、第四、第五大股東，其中國(guó)家大基金認(rèn)繳出資額為3758.24萬元，持股比例12.12%。 近半年來，國(guó)家大基金不止一次投資集成電路設(shè)備企業(yè)。2019年9月，國(guó)家大基金投資入股精測(cè)電子旗下專注于半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備的子公司上海精測(cè)；同年10月，國(guó)家大基金與中科儀簽署協(xié)議，戰(zhàn)略投資中科儀真空干泵產(chǎn)業(yè)化升級(jí)。 如今，國(guó)家大基金再次將目光聚焦于設(shè)備領(lǐng)域，正式將睿勵(lì)科學(xué)儀器納入“國(guó)家隊(duì)”。 資料顯示，睿勵(lì)科學(xué)儀器成立于2005年，致力于研發(fā)、生產(chǎn)和銷售具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的集成電路生產(chǎn)制造工藝裝備產(chǎn)業(yè)中的工藝檢測(cè)設(shè)備。 據(jù)中微公司此前指出，睿勵(lì)科學(xué)儀器自主研發(fā)的12英寸光學(xué)測(cè)量設(shè)備TFX3000系列產(chǎn)品，已應(yīng)用在28納米芯片生產(chǎn)線并在進(jìn)行14納米工藝驗(yàn)證，在3D存儲(chǔ)芯片上達(dá)到64層的檢測(cè)能力。 關(guān)于集邦咨詢（TrendForce）
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