潔凈室(Clean Room)，亦稱無塵車間、無塵室或清凈室。潔凈室的主要功能為室內(nèi)污染控制，沒有潔凈室，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在FED-STD-2里面，潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃墑e。潔凈程度和控制污染的持續(xù)穩(wěn)定性，是檢驗(yàn)潔凈室質(zhì)量的核心標(biāo)準(zhǔn)，該標(biāo)準(zhǔn)根據(jù)區(qū)域環(huán)境、凈化程度等因素，分為若干等級，常用的有國際標(biāo)準(zhǔn)和國內(nèi)區(qū)域行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，一些知名凈化工程公司，在通行標(biāo)準(zhǔn)之外，還設(shè)有自身執(zhí)行的高于國際化通行標(biāo)準(zhǔn)的凈化指標(biāo)，凈化能力和環(huán)境適應(yīng)力遠(yuǎn)超國際品牌。

簡介

潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除，并將室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)的房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

潔凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當(dāng)然這個標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。

每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級。芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于A級，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。0.5uM及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方英寸1000個以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。

空態(tài)：已經(jīng)建造完成并可以投入使用的潔凈室（設(shè)施）。它具備所有有關(guān)的服務(wù)和功能。但是，在設(shè)施內(nèi)沒有操作人員操作的設(shè)備。

靜態(tài)：各種功能完備、設(shè)定安裝妥當(dāng)，可以按照設(shè)定使用或正在使用的潔凈室（設(shè)施），但是設(shè)施內(nèi)沒有操作人員。

動態(tài)：處于正常使用的潔凈室，服務(wù)功能完善，有設(shè)備和人員；如果需要，可從事正常的工作。

單向流（層流）潔凈室原理

在潔凈室內(nèi)，從送風(fēng)口到回風(fēng)口，氣流流經(jīng)途中的斷面幾乎沒有什么變化，加上進(jìn)風(fēng)靜壓箱和高效過濾器的均壓均流作用，全室斷面上的流速比較均勻，而至少在工作區(qū)內(nèi)流線單向平行，沒有渦流。這也就是單向流潔凈室的三大特點(diǎn)。這里的流線單向平行，是指時均流線彼此平行，方向單一。

單向流潔凈室的流態(tài)從雷諾數(shù)判斷是紊流的，所以所謂層流潔凈室的層流和流體力學(xué)上的層流是完全不同的概念。因此，層流潔凈室這個名詞是不貼切的，國外某些標(biāo)準(zhǔn)和文章也指出這一點(diǎn)，例如英國標(biāo)準(zhǔn)BS-5295就曾把所謂層流潔凈室定義為單向流潔凈室，只是照顧習(xí)慣在括號中注明為層流。前聯(lián)邦德國標(biāo)準(zhǔn)VDl- 2083則用“非紊流的置換流”這一術(shù)語，并在注中指出，層流這一概念只是為了區(qū)別早于層流潔凈室出現(xiàn)的紊（亂）流潔凈室而在當(dāng)時采用的習(xí)慣用語，“層流系統(tǒng)”的確切意思并不是分層流動，而是紊流的置換流，用本章提到的概念是紊流的漸變流。在流體力學(xué)中，這種流動狀態(tài)也可稱平行流或單向流。1977年中國在《空氣潔凈技術(shù)措施》中選用了“平行流”這個術(shù)語，在該術(shù)語后面同時也指出習(xí)慣上稱“層流”。

在單向流潔凈室內(nèi)，干凈氣流不是一股或幾股，而是充滿全室斷面，所以這種潔凈室不是靠潔凈氣流對室內(nèi)臟空氣的摻混稀釋作用，而是靠潔凈氣流推出作用將室內(nèi)臟空氣沿整個斷面排至室外，達(dá)到凈化室內(nèi)空氣的目的。所以，前聯(lián)邦德國有人稱單向流潔凈室的氣流為“活塞流”、“平推流”前蘇聯(lián)稱之為“被擠壓的弱空氣射流”。干凈空氣就好比一個空氣活塞，沿著房間這個“氣缸”，向前（下）推進(jìn)，而使塵粒只能前（下）進(jìn)，沒有返回，把原有的含塵濃度高的空氣擠壓出房間。

在單向流潔凈室以及單向流凈化設(shè)備中，可以發(fā)現(xiàn)沿壁的和兩個過濾器搭接處下方的反向氣流。這種氣流將把下方的污染傳輸?shù)缴喜吭偎拖聛?，破壞了上述“活塞流”的狀態(tài)，危害極大。對于和外界有開口相通的局部凈化設(shè)備，例如潔凈工作臺，這種氣流將引射外界污染氣流，在設(shè)計(jì)上一定要減小過濾器邊框處所占的無效面積，更要設(shè)法使空間的壁面盡量接近過濾器有效迭風(fēng)截面。

通過上面分析，可以認(rèn)為保證單向流潔凈室特性（高潔凈度和快速自凈恢復(fù)能力）的重要先決條件有兩個：①來流的潔凈度；②來流的活塞流情況；

對于來流的潔凈度，對通過高效以上過濾器送風(fēng)的單向流潔凈室來說是不成問題的，而對于來流的“活塞流”情況，則需作進(jìn)～步分析。

根據(jù)流體力學(xué)原理，來流條件對以后的流動狀況將有直接的重要影響，送風(fēng)面出口氣流也就是工作區(qū)的來流。

來流的紊動性大，則將影響后面的單向流特性；來流未充滿流動截面，則將影響后面是否能形成“活塞流”和形成的快慢；而來流未充滿流動截面也是來流素動的一個因素。所以，在采用高效過濾器的條件下，保證單向流潔凈室特性的必要條件是“活塞流”，而“活塞流”的必要條件則是來流充滿流動截面。但是，對一間房間而不是一段管道來說，讓氣流從頭至尾完全充滿流動截面也是不現(xiàn)實(shí)的。

最初，確實(shí)認(rèn)為這種單向平行的氣流應(yīng)該充滿整個潔凈室，但這在技術(shù)上和經(jīng)濟(jì)上都是不利的。隨著認(rèn)識的發(fā)展，人們又指出這種單向流只是“在有限的領(lǐng)域內(nèi)全部空氣沿平行流線以等速流動的意思”，并認(rèn)為能極力抑制渦流的發(fā)生。通過全空間的清潔空氣的單向流特性占支配地位的那樣的房間，也稱為單向流潔凈室。這就是說，不要求在整個房間都具有單向平行的流線，均勻的速度，沒有渦流，而是只要求單向平行流特性在這個房間中占支配地位，例如在整個工作區(qū)這一層空間保證了單向流，這個房間就是單向流潔凈室。前面介紹過的國內(nèi)外有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、措施中關(guān)于單向流潔凈室達(dá)到的高潔凈度，就是指在工作區(qū)內(nèi)達(dá)到的潔凈度。因此，密集布置的流線型散流器頂送和全孔板頂送，也被作為實(shí)現(xiàn)垂直單向流的手段使用。

亂流原理

潔凈室按其氣流狀態(tài)來區(qū)分，主要分為亂流（非單向流）潔凈室、單向流潔凈室和輻流潔凈室（也有稱矢流潔凈室的），這一節(jié)主要討論亂流潔凈室。前面已經(jīng)指出，不論是哪一種潔凈室，都是紊流流態(tài)。那為什么不都叫紊流潔凈室呢？

亂流潔凈室的名稱是借用于日文，但是日文的亂流就是紊流的意思，而中國最早在《空氣潔凈技術(shù)措施》中正式采用的亂流一詞是兼有紊流的含義而不同于流體力學(xué)上的紊流這一專有名詞。國際上習(xí)慣稱這種潔凈室為非單向流潔凈室。

所謂亂流潔凈室，一般包括以下各種送風(fēng)形式：

⑴高效過濾器頂送（有擴(kuò)散板和無擴(kuò)散板

⑵流線型散流器頂進(jìn)

⑶局部孔板頂送

⑷側(cè)送

具有這些送風(fēng)形式的潔凈室，如以雷諾數(shù)判斷，顯然屬于紊流流態(tài)，但是如果把它們稱為紊流潔凈室就不合適。氣流沿整個頂棚下送，室內(nèi)速度達(dá)到0.25m/s 以上，這種室內(nèi)的流動狀態(tài)也是紊流，但在后面就會搞清楚，雖然這兩種送風(fēng)方式都造成室內(nèi)紊流流態(tài)，但是就其凈化室內(nèi)空氣的原理來說，卻是根本不同的，后者屬于單向流或平行流潔凈室的凈化原理。所以如果把前者稱為紊流潔凈室，則后者也應(yīng)被包含進(jìn)去了。

亂流潔凈室的主要特點(diǎn)是從來流到出流（從送風(fēng)口到回風(fēng)口）之間氣流的流通截面是變化的，潔凈室截面比送風(fēng)口截面大得多，因而不能在全室截面或者在全室工作區(qū)截面形成勻速氣流。所以，送風(fēng)口以后的流線彼此有很大或者越來越大的夾角，曲率半徑很小，氣流在室內(nèi)不可能以單一方向流動，將會彼此撞擊，將有回流、旋渦產(chǎn)生。這就決定亂流潔凈室的流態(tài)實(shí)質(zhì)是：突變流；非均勻流。

這比用紊流來描述亂流潔凈室更確切、更全面。紊流主要決定于雷諾數(shù)，也就是主要受流速的影響，但是如果采用一個高效過濾器頂送的送風(fēng)形式，則即使流速極低，也要產(chǎn)生上述各種結(jié)果，這就因?yàn)樗且粋€突變流和非均勻流。因此這種情況下不僅有流層之間因紊流流動而發(fā)生的摻混，而且還有全室范圍內(nèi)的大的回流、旋渦所發(fā)生的摻混。

所以，概括地說，亂流潔凈室的作用原理是：當(dāng)一股干凈氣流從送風(fēng)口送入室內(nèi)時，迅速向四周擴(kuò)散、混合，同時把差不多同樣數(shù)量的氣流從回風(fēng)口排走，這股干凈氣流稀釋著室內(nèi)污染的空氣，把原來含塵濃度很高的室內(nèi)空氣沖淡了，一直達(dá)到平衡。所以氣流擴(kuò)散得越快，越均勻，稀釋的效果就越好。所以亂流潔凈室的原理就是稀釋作用。

所需材料

潔凈室在進(jìn)行凈化工程施工的時候，需要用到以下設(shè)備：

A． 裝飾結(jié)構(gòu)類：

1：潔凈室所需要的凈化設(shè)備主要有：風(fēng)淋室貨淋室 層流罩（FFU）傳遞窗高效送風(fēng)口（分為普通高效送風(fēng)口，一體化高效送風(fēng)口，可更換濾網(wǎng)的高效送風(fēng)口） 泄壓閥 風(fēng)量調(diào)節(jié)閥等，潔凈室做好后有的局部凈化級別要求特別高，因此我們推薦客戶使用潔凈工作臺，潔凈棚等凈化設(shè)備。

2：圍體結(jié)構(gòu)彩鋼板（各種鋁型材 槽鋁 T型大梁鋁 角鋁 外形柱鋁 外圓片 三維接頭 門堵頭 內(nèi)圓弧線 門料 窗料等） 輔助材料角鐵 圓鋼 膠塞 白功釘 拉爆鉤等）

B．空調(diào)通風(fēng)部分：

1.空調(diào)通風(fēng)部分主要材料有空調(diào)主機(jī)，送回風(fēng)管，鍍鋅水管（或者PVC水管） 水塔 閘閥水泵 Y型過濾器 橡膠軟管 止回閥 水流開關(guān) 溫度計(jì) 壓力表 水過濾器 各種管碼

2：通風(fēng)部分的主要材料有中效增壓箱 風(fēng)閥 風(fēng)量調(diào)節(jié)閥 初效防雨百葉 風(fēng)回百葉 初效過濾器 中效過濾器 高效過濾器 層流罩（FFU） 保溫棉 保濕軟管 各種輔材

C． 電器部分：

1、空調(diào)電路

　　2、凈化設(shè)備電路

　　3、照明電路

D． 地面部分：

　　 1、環(huán)氧樹脂地坪

　　2、PVC地板

　　3、高架地板地面

所需設(shè)備

風(fēng)淋室

風(fēng)淋室系列產(chǎn)品是一種通用性較強(qiáng)的局部凈化設(shè)備，安裝于潔凈室與非潔凈室之間。當(dāng)人與貨物要進(jìn)入潔凈區(qū)時需經(jīng)風(fēng)淋室吹淋，其吹出的潔凈空氣可去除人與貨物所攜帶的塵埃，能有效的阻斷或減少塵源進(jìn)入潔凈區(qū)。風(fēng)淋室/貨淋室的前后兩道門為電子互鎖，又可起到氣閘的作用，阻止未凈化的空氣進(jìn)入潔凈區(qū)域。

貨淋室

貨淋室，固名思義，即為貨物專用的吹淋室，又稱之為貨淋通道、貨淋門、廣泛適用于電子，食品、包裝企業(yè)的物流通道處，對即將進(jìn)入潔凈車間進(jìn)行操作加工的貨物原材料及工具進(jìn)行吹淋，達(dá)到過濾去除灰塵粒子，進(jìn)入無塵車間的原材料潔凈的效果.因每個企業(yè)物流通道的現(xiàn)場尺寸以及需要吹淋的貨物原材料運(yùn)輸方式大小的不同，故貨淋室沒有統(tǒng)一的標(biāo)準(zhǔn)，全部為非標(biāo)產(chǎn)品。貨淋在功能上既有普通型貨淋室，又有紅外線語音提示型貨淋室，還有自動移門式貨淋室。

傳遞窗

傳遞窗主要適用于潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間，或潔凈室與潔凈室之間的小貨物傳遞，可有效的減少潔凈室門的開啟次數(shù)，把潔凈區(qū)的污染減少的最低程度。根據(jù)使用要求，傳遞窗箱體表面可噴塑，內(nèi)膽可用不銹鋼，外表美觀。傳遞窗的兩扇門采用電控連鎖或機(jī)械連鎖裝置，可有效的防止低潔凈等級區(qū)內(nèi)的灰塵帶入高潔凈區(qū)內(nèi)，是凈化車間必備佳品。

高效送風(fēng)口

本產(chǎn)品為萬級，十萬級亂流潔凈室新建，改建工程凈化空調(diào)系統(tǒng)終端送風(fēng)裝置。可廣泛應(yīng)用與電子工業(yè)，精密機(jī)械，冶金，化工等工業(yè)及醫(yī)療，制藥，食品等部門的凈化空調(diào)系統(tǒng)。本裝置主要由靜壓箱，高效過濾器，鋁合金擴(kuò)散板，標(biāo)準(zhǔn)法蘭接口等組成，造型美觀，結(jié)構(gòu)簡單，使用可靠。 本送風(fēng)口為下裝式，具有在潔凈室內(nèi)安裝和更換過濾器方便的優(yōu)點(diǎn)，高效過濾器采用機(jī)械壓緊或液槽密封裝置，確保風(fēng)口安裝無泄露，密封可靠，凈化效果好，對一般凈化工程均可適用。

潔凈工作臺

無塵車間內(nèi)的潔凈工作臺可根據(jù)產(chǎn)品要求或其他用途的要求，在操作臺上保持高潔凈度的局部凈化。潔凈工作臺可以在操作臺的局部空間形成無菌、無塵的局部凈化，其主要組成部件有預(yù)過濾器、高效過濾器、風(fēng)機(jī)機(jī)組、外殼、靜壓箱、臺面和配套的電器元器件等。

無塵車間的潔凈工作臺的構(gòu)造要求：臺面，采用木質(zhì)塑料貼面貼于層壓板上做成臺面，或采用不銹鋼做臺面；箱體，用熱扎薄鋼板與骨架氣焊易變形，可采用冷軋薄板折邊搭接，大電流電焊，內(nèi)表面需粘貼消聲材料，最大尺寸應(yīng)以通過一般房門為宜；箱體密封，所有縫隙均采用密封膠密封；操作區(qū)截面應(yīng)盡可能與空氣過濾器送風(fēng)截面相同，盡量減少盲區(qū)；風(fēng)機(jī)、電機(jī)，選用高壓低噪的小型風(fēng)機(jī)，風(fēng)機(jī)與箱體的連接采用軟連接，電機(jī)及風(fēng)機(jī)均應(yīng)采取減振措施；燈罩，日光燈要盡量設(shè)置在燈罩內(nèi)，燈罩內(nèi)要通過潔凈氣流；預(yù)過濾器，須設(shè)置預(yù)過濾器，容量要大，在使用風(fēng)量下，初阻力宜小于50Pa；高效過濾器，盡量采用大面積的過濾器，減少空氣過濾器的數(shù)量，過濾器與框架之間的密封應(yīng)采用封導(dǎo)結(jié)合的雙環(huán)密封系統(tǒng)。

FFU風(fēng)機(jī)過濾單元

風(fēng)機(jī)過濾單元（FFU）是一種空氣自凈裝置，可室內(nèi)吊頂安裝或放置在支架上，使局部級別達(dá)到百級。也可用于潔凈室末端送風(fēng)。該產(chǎn)品設(shè)有初、高效兩級過濾裝置。風(fēng)機(jī)從頂部將空氣吸入并經(jīng)初、高效過濾器過濾，過濾后的潔凈空氣在整個出風(fēng)口送出。安裝方式有懸掛式和落地支架兩種。

風(fēng)機(jī)從FFU頂部將空氣吸入并經(jīng)初、高效過濾器過濾，過濾后的潔凈空氣在整個出風(fēng)面以0.45M/S±20%的風(fēng)速勻速送出。它為不同尺寸大小，不同潔凈度等級的潔凈室、微環(huán)境提供高質(zhì)量的潔凈空氣。在新建潔凈室、潔凈廠房式改造翻新中，即可提高潔凈度級別，降低噪音和振動，也可大大降低造價(jià)，安裝維護(hù)方便，是潔凈環(huán)境的理想部件。

層流罩

層流罩一種可提供局部高清潔環(huán)境的空氣凈化設(shè)備。它主要有箱體，風(fēng)機(jī)，初效空氣過濾器，高效空氣過濾器。阻尼層，燈具等組成，箱體噴塑或采用不銹鋼材料。該產(chǎn)品即可以懸掛，又可地面支撐，結(jié)構(gòu)緊湊，使用方便?？梢詥蝹€使用，也可多個聯(lián)接組成帶狀潔凈區(qū)域。廣泛用于精密機(jī)械，電子，制藥，食品，精細(xì)化工等部門。

控管項(xiàng)目

1、能除去空氣中飄游之微塵粒子。

2、能防止微塵粒子之產(chǎn)生。

3、溫度和濕度之控制。

4、壓力之調(diào)節(jié)。

5、 有害氣體之排除。

6、結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性。

7、靜電之防制。

8、電磁干擾預(yù)防。

9、安全因素之考慮。

10、節(jié)能之考量。

凈化方法

空氣凈化方法

1 、整體凈化：可分為層流型和湍流型。層流是指空氣由一側(cè)全面地以同速流向另一側(cè)，使室內(nèi)產(chǎn)生的塵?；蚣?xì)菌不會向四周擴(kuò)散而被平推出室外，而達(dá)到好的除菌效果。

⑴高效過濾除菌技術(shù)：空氣潔凈主要靠高效或超高效過濾設(shè)備，向特定的環(huán)境內(nèi)輸送潔凈空氣并能保持空氣的潔凈度。過濾潔凈原理：①網(wǎng)截阻留；②篩孔阻留；③靜電吸引阻留；④慣性碰撞和布朗運(yùn)動阻留。因此，過濾潔凈技術(shù)是一種綜合作用的結(jié)果。

⑵濾材結(jié)構(gòu)：生物潔凈室所用濾材級別多數(shù)為高效或超高效濾材，所用濾材有：玻璃棉制濾材、高級紙漿制濾材、石棉纖維濾材、過氯乙烯纖維濾材等。高效濾材對空氣中 0.5 μ m 的顆粒的阻留率能達(dá)到 90%~99% ，超高效濾材可阻留 0.3 μ m 的顆粒 99.9% 以上。

2 、局部凈化

⑴潔凈層流罩：潔凈層流罩是醫(yī)院局部空氣凈化裝置。一般可構(gòu)成垂直層流方式，四周用透明圍幕。整個罩內(nèi)可保持高潔凈度（萬級至百級）空氣。這種潔凈層流罩可用于免疫功能低下病人的治療保護(hù)，所以也稱無菌病床層流罩。

⑵凈化操作臺：采用水平或垂直層流方式凈化箱體內(nèi)的空氣，可使操作臺內(nèi)凈化達(dá)到很高級別。

⑶靜電吸附除菌凈化技術(shù)：靜電吸附除菌是利用工業(yè)電除塵的原理，在小型化技術(shù)方面有所創(chuàng)新。①采用細(xì)線放電極與蜂巢狀鋁箱收集極形成級線裝置；②采用鏡象力荷電吸附作用。

目前有一種三級凈化裝置，即預(yù)過濾 - 高效過濾 - 活性炭吸附，組合式正離子靜電吸附除菌，并采用大風(fēng)量空氣凈化，以保證室內(nèi)空氣凈化次數(shù)，較好地解決了醫(yī)院重點(diǎn)部門如手術(shù)室、 ICU 、母嬰病房、血液透析室等有人情況下的空氣持續(xù)消毒問題，可使醫(yī)院室內(nèi)空氣的凈化潔凈度達(dá)到 10 萬級 ~1 萬級。

⑷負(fù)離子凈化技術(shù)：負(fù)離子是一種帶負(fù)電的化學(xué)基團(tuán)，能發(fā)生可逆性變化，存在時間極短，本身并無殺滅微生物的能力，主要是靠帶電離子與空氣中的微粒特別是微生物顆粒結(jié)合，形成多個顆粒凝聚變大從而迅速沉降，使空氣達(dá)到凈化的目的?？諝庵胸?fù)離子只有在具備某些化學(xué)性質(zhì)時，如活性氧離子等，它們才具有侵害蛋白質(zhì)的能力從而殺滅微生物，因此負(fù)離子對空氣凈化的能力比較有限，對空氣中微生物粒子清除率只能達(dá)到 70%~90%。

工作方式

亂流式

空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器（HEPA)進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。

定義：氣流以不均勻速度不平行流動、伴有回流或渦流的潔凈室。

特性：亂流潔凈室是靠多次換氣來實(shí)現(xiàn)潔凈與潔凈級別。換氣次數(shù)決定定義中的凈化級別（換氣次數(shù)越多，凈化級別越高）

⑴自凈時間：是指潔凈室按設(shè)計(jì)換氣次數(shù)開始送風(fēng)到潔凈室，室內(nèi)含塵濃度達(dá)到所設(shè)計(jì)的凈化級別的時間。1,000級希望不超過20min（分鐘） （可取15min計(jì)算） 10,000級希望不超過30min（分鐘） （可取25min計(jì)算） 100,000級希望不超過40min（分鐘） （可取30min計(jì)算）

⑵換氣次數(shù)（按上述自凈時間要求設(shè)計(jì)）1,000級 43.5—55.3次/小時 （規(guī)范：50次/小時） 10,000級 23.8—28.6次/小時 （規(guī)范：25次/小時） 100,000級 14.4—19.2次/小時 （規(guī)范：15次/小時）

優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本，潔凈室之?dāng)U充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高潔凈室等級。

缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活，欲達(dá)需求之潔凈度，往往須耗時相當(dāng)長一段時間。

層流式

層流式空氣氣流運(yùn)動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率100%之過濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)，此型式適用于潔凈室等級需定較高之環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為Class 1~100。其型式可分為二種：

⑴水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。

優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡單，運(yùn)轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。

缺點(diǎn)：建造費(fèi)用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。

⑵垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^(qū)域。

優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運(yùn)轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。

缺點(diǎn)：構(gòu)造費(fèi)用較高，彈性運(yùn)用空間困難，天花板之吊架相當(dāng)占空間，維修更換過濾器較麻煩。

復(fù)合式

復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

⑴潔凈隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。

此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。

潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：A.彈性擴(kuò)充容易； B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

⑵潔凈管道（Clean Tube）：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動化生產(chǎn)線為最適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。

⑶并裝局部潔凈室（Clean Spot）：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產(chǎn)之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。

潔凈工作臺：等級Class 1~100級。

潔凈工作棚：為在亂流式之潔凈室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨(dú)立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為一較高級之潔凈空間，其等級為10~1000級，高度在2.5米左右，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動輪，可為彈性運(yùn)用。

風(fēng)速控制

潔凈室內(nèi)的氣流是左右潔凈室性能的重要因素，一般潔凈室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間，此氣流速度屬微風(fēng)區(qū)域，易受人、機(jī)器等的動作而干擾趨于混亂、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風(fēng)速的提高，將影響運(yùn)轉(zhuǎn)成本的增加，所以應(yīng)在滿足要求的潔凈度水準(zhǔn)之時，能以最適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)，以達(dá)到適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)以達(dá)到經(jīng)濟(jì)性效果。

另一方面欲達(dá)到潔凈室潔凈度之穩(wěn)定效果，均一氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若無法保持，表示風(fēng)速有異，特別是在壁面，氣流會延著壁面發(fā)生渦流作用，此時要實(shí)現(xiàn)高潔凈度事實(shí)上很困難。

垂直層流式方向要保持均一氣流必須：（a）吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異；（b）地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異。速度過低或過高（0.2m/s，0.7m/s）均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一，一般潔凈室，其風(fēng)速均取在0.25~0.5m/s之間。

影響因素

影響潔凈室的氣流因素很多，如制程設(shè)備、人員、潔凈室組裝材、照明器具等，同時對于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點(diǎn)，亦應(yīng)列入考慮因素。

一般操作臺或生產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點(diǎn)，應(yīng)設(shè)于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處，如此可使作業(yè)人員工作時，氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū)，而將微塵帶走；若分流點(diǎn)配置在制程區(qū)前方，將成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至?，此時大部份的氣流將流至制程區(qū)之后，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面，工作臺因而將受到污染，良率也勢必降低。

潔凈室內(nèi)的工作桌等障礙物，在相接處均會有渦流現(xiàn)象發(fā)生，相對地在其附近之潔凈度將會較差，在工作桌面鉆上回風(fēng)孔，將使渦流現(xiàn)象減少最低；組裝材料之選擇是否恰當(dāng)、設(shè)備布局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素。

潔凈室的構(gòu)成是由下列各項(xiàng)系統(tǒng)所組成（在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的），否則將無法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的潔凈室：

⑴天花板系統(tǒng)：包括吊桿（Ceiling rod）、綱梁（I-Beam或U-Beam）、天花板格子梁（Ceiling grid或 Ceilingframe）。

⑵空調(diào)系統(tǒng)：包括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風(fēng)車等。

⑶隔墻板（Partitional wall）：包括窗戶、門。

⑷地板：包括高架地板或防靜電舒美地板。

⑸照明器具：包括日光燈、黃色燈管等。

潔凈室之建筑主體構(gòu)造，一般是用鋼筋或骨水泥，但無論是何種構(gòu)造，必須滿足如下之條件：

●不會因溫度變化與振動而發(fā)生裂痕；

●不易產(chǎn)生微塵粒子，且很難附著粒子；

●吸濕性?。?/p>

●為了維持室內(nèi)之濕度條件，熱絕緣性要高。

重要性

潔凈室的潔凈度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機(jī)器隔間、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃之移動、擴(kuò)散受到氣流的支配。

潔凈室系利用HEPA、ULPA過濾空氣，其塵埃的收集率達(dá)99.97~99.99995%之多，因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而潔凈室內(nèi)除了人以外，尚有機(jī)器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴(kuò)散，即無法保持潔凈空間，因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。

應(yīng)用領(lǐng)域

工業(yè)

以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染，內(nèi)部一般保持正壓狀態(tài)。它適用于精密機(jī)械工業(yè)、電子工業(yè)（半導(dǎo)體、集成電路等）宇航工業(yè)、高純度化學(xué)工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)（光盤、膠片、磁帶生產(chǎn)）LCD（液晶玻璃）、電腦硬盤、電腦磁頭生產(chǎn)等多行業(yè)。

生物

主要控制有生命微粒（細(xì)菌）與無生命微粒（塵埃）對工作對象的污染。又可分為：

A、 一般生物潔凈室：主要控制微生物（細(xì)菌）對象的污染。同時其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌劑侵蝕，內(nèi)部一般保證正壓。實(shí)質(zhì)上其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌處理的工業(yè)潔凈室。例：制藥工業(yè)、醫(yī)院（手術(shù)室、無菌病房）食品、化妝品、飲料產(chǎn)品生產(chǎn)、動物實(shí)驗(yàn)室、理化檢驗(yàn)室、血站等。

B、 生物學(xué)安全潔凈室：主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染。內(nèi)部要保持與大氣的負(fù)壓。例：細(xì)菌學(xué)、生物學(xué)、潔凈實(shí)驗(yàn)室、物物工程（重組基因、疫苗制備）。

工作量

發(fā)塵量

潔凈室內(nèi)的發(fā)塵量，來自設(shè)備的可考慮通過局部排風(fēng)排除，不流入室內(nèi)；產(chǎn)品，材料等在運(yùn)送過程中的發(fā)塵與人體發(fā)塵量相比，一般極小，可忽略；由于金屬半壁（彩鋼夾心板）的應(yīng)用來自建筑表面的發(fā)塵也很少，一般占10%以下，發(fā)塵主要來自人，占90%左右。在人的發(fā)塵量上，由于服裝材料和樣式的改進(jìn)，發(fā)塵絕對量也不斷減少。

A、材質(zhì)：棉質(zhì)發(fā)塵量最大，以下依次為棉、的確良、去靜電純滌綸、尼龍。

B、樣式：大掛式發(fā)塵量最大，上下分裝型次之，全罩型最少。

C、活動：動作時的發(fā)塵量一般達(dá)到靜止時間3-7倍。

D、清洗：用溶劑洗滌的發(fā)塵量降至用一般水清洗的五分之一。

室內(nèi)維護(hù)結(jié)構(gòu)表面發(fā)塵量，以地面為準(zhǔn)，大約相應(yīng)8平方米地面時的表面發(fā)塵量與一個靜止的人的發(fā)塵量相當(dāng)。

發(fā)菌量

工作人員產(chǎn)生的污染：

1）皮膚：人類通常每四天完成一次皮膚的完全脫換，人類每分鐘脫落約1000片皮膚（平均大小為30*60*3微米）

2）頭發(fā)：人類的頭發(fā)（直徑約為50~100微米）一直在脫落。

3）口水：包括鈉、酶、鹽、鉀、氯化物及食品微粒。

4）日常衣物：微粒、纖維、硅土、纖維素、各種化學(xué)品和細(xì)菌。

5）人類靜止和坐立每分鐘將產(chǎn)生10000個大于0.3微米的微粒。

6）人類在頭部和軀干做動作時每分鐘將產(chǎn)生1000000個大于0.3微米的微粒。

7）人類以0.9m/s的速度行走時每分鐘將產(chǎn)生5000000個大于0.3微米的微粒。

分析國外試驗(yàn)資料可以認(rèn)為：

⑴ 潔凈室內(nèi)當(dāng)工作人員穿無菌服時：

靜止時的發(fā)菌量一般為10-300個/min.人

軀體一般活動時的發(fā)菌量為 150-1000個/min.人

快步行走時的發(fā)菌量為 900-2500個/min.人

⑵ 咳嗽一次一般為 70~700個/ min.人

噴嚏一次一般為 4000~62000個/ min.人

⑶ 穿平常衣服時發(fā)菌量 3300~62000個/ min.人

⑷ 無口罩發(fā)菌量：有口罩發(fā)菌量 1:7~1:14

⑸ 發(fā)菌量：發(fā)塵量 1:500~1:1000 據(jù)國內(nèi)事例：

⑹ 手術(shù)中人員發(fā)菌量 878個/ min.人

所以，可知潔凈室內(nèi)無菌衣人員的靜態(tài)發(fā)菌量一般不超過300個/ min.人，動態(tài)發(fā)菌量一般不超過1000個/ min/人，以此作為計(jì)算依據(jù)是可行的。

執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)

國內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)

⑴.潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范 GB50073-2001

⑵.醫(yī)院潔凈手術(shù)部建筑技術(shù)規(guī)范GB50333-2002

⑶.醫(yī)藥工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范GB 50457-2008

⑷.傳染病醫(yī)院建筑設(shè)計(jì)規(guī)范

⑸.醫(yī)藥工業(yè)潔凈室（區(qū)）懸浮粒子的測試方法GB/T16292-2010

⑹.QS認(rèn)證質(zhì)量手冊

⑺.GMP藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范

⑻. 潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范GB 5091-2010

國際標(biāo)準(zhǔn)

ISO系列

⑴ISO14644-1空氣潔凈度等級劃分

⑵ISO14644-2 為認(rèn)證ISO14644-1的 連續(xù)的相符性的測試和監(jiān)測技術(shù)要求

⑶ISO14644-3 測試方法

⑷ISO14644-4 設(shè)計(jì)建造啟動

⑸ISO14644-5 運(yùn)行（Operations)

⑹ISO14644-6 術(shù)語和定義

⑺ISO14644-7 分離裝置（潔凈空氣罩、手套箱、分離器和微循環(huán)設(shè)備

⑻ISO14644-8 分子污染

⑼ISO14644-9 潔凈化學(xué)品（液體）

IEST系列

潔凈空氣：

RP-CC001高效與超高效過濾器

RP-CC002單向流裝置

RP-CC006潔凈室測試RP-CC007超高效過濾器測試

RP-CC008氣體吸收裝置

RP-CC021高效與超高效過濾器過濾器介質(zhì)測試

RP-CC034高效與超高效過濾器過濾器檢漏

潔凈室與潔凈環(huán)境：

RP-CC006潔凈室測試

RP-CC012潔凈室設(shè)計(jì)要點(diǎn)

RP-CC016潔凈室非揮發(fā)性殘留物質(zhì)的沉積率

RP-CC018潔凈室管理運(yùn)行與檢測程序

RP-CC022潔凈室與受控環(huán)境中的靜電

RP-CC023潔凈室中的微生物

RP-CC024微電子設(shè)備震動測量與說明

RP-CC026潔凈室運(yùn)行

RP-CC027潔凈室與受控環(huán)境中人員與行為

特殊應(yīng)用：

RP-CC029使用噴漆器要考慮的污染控制因素

運(yùn)行保障：

RP-CC003凈室與受控環(huán)境的服裝系統(tǒng)要點(diǎn)

RP-CC004凈室與受控環(huán)境用抹布材料評估

RP-CC005凈室與受控環(huán)境用手套和指套

RP-CC020潔凈室文件材料與格式

設(shè)備：

RP-CC002單向流裝置

RP-CC013設(shè)備校準(zhǔn)與檢驗(yàn)程序

RP-CC015潔凈室生產(chǎn)設(shè)備與輔助設(shè)備

術(shù)語：

RP-CC011污染控制領(lǐng)域術(shù)語和定義

文獻(xiàn)：

RP-CC009污染控制領(lǐng)域的標(biāo)準(zhǔn)、準(zhǔn)則、方法與相關(guān)文件概覽

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