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全球首臺6代OLED垂直蒸鍍機已出貨,?打破日韓壟斷!

 江海博覽 2024-01-19 發(fā)布于浙江

供應鏈消息人士向WitDisplay透露,應用材料全球首臺第6代AMOLED垂直蒸鍍機已出貨,成功打破日韓廠商在6代蒸鍍機的壟斷格局。

蒸鍍工藝是OLED制造的核心工藝之一,制約著OLED的良率和產(chǎn)能。根據(jù)精密金屬掩膜板(FMM)放置方向,蒸鍍工藝可分為水平蒸鍍以及垂直蒸鍍。

全球首臺6代OLED垂直蒸鍍機已出貨,?打破日韓壟斷!

目前,水平蒸鍍是OLED產(chǎn)業(yè)的主流,6代水平蒸鍍機由日本佳能Tokki和韓國Sunic-System壟斷,已量產(chǎn)的6代OLED產(chǎn)線絕大部分采用佳能Tokki蒸鍍機,少部分采用Sunic System蒸鍍機,所以佳能Tokki是水平蒸鍍機的霸主。

不過,水平蒸鍍工藝并不完美,一直存在“重力下垂”的技術瓶頸。據(jù)介紹,F(xiàn)MM是超薄的金屬遮罩,當水平放置時,在重力的作用下FMM中間與邊緣存在一定的偏移量,而且FMM尺寸越大偏移的幅度越明顯。這不利于提高AMOLED的PPI,使混色良率降低,大幅提高了AMOLED生產(chǎn)成本。

而垂直蒸鍍工藝最大的優(yōu)點就能避免水平蒸鍍工藝FMM“重力下垂”帶來的干擾。垂直蒸鍍工藝則將FMM垂直放置,F(xiàn)MM和玻璃基板形變小,蒸鍍更均勻,像素位置精度(PPA)更高,混色更小,同時可以提升分辨率,降低功耗、成本,成為一個重要的蒸鍍工藝制程方向。

當前,只有JDI擁有一條垂直蒸鍍工藝低世代量產(chǎn)線,主要用于生產(chǎn)手表用的OLED。JDI表示,垂直方式蒸鍍設備所占面積相比目前的水平方式蒸鍍設備的減少30%。業(yè)內人士也向WitDisplay透露,JDI為蘋果手表供應的OLED就是采用垂直蒸鍍工藝生產(chǎn)的。

6代、8.5代垂直蒸鍍機沒有量產(chǎn)案例,三星顯示、京東方最新公布的8.6代OLED產(chǎn)線皆采用水平蒸鍍機,垂直蒸鍍機能否成功挑戰(zhàn)更為成熟的水平蒸鍍機,值得關注。

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