FFU及干冷盤管的選擇及其應用

FFU(風機過濾器單元)

FFU是近年普通應用在單向流和混合流中的重要凈化設備。它是有標準模數(shù)尺寸（1200x600mm，600x600mm，1200x1200mm等）的風機和過濾器（高效過濾器、超高效過濾器）的組合體做為潔凈室的終端設備，分散或集中地布置在潔凈廠房的吊頂上。為了保證潔凈廠房的室內(nèi)參數(shù)，它經(jīng)常與干冷盤管和新風機組配合使用。

FFU示意圖如下

FFU就其性能而言，又可分為 標準型 和 高靜壓型 。

標準型機組的機外靜壓為50Pa，高靜壓型機組的機外靜壓為120Pa。

對于高靜壓型其機組的性能參數(shù)最好是：

a、斷面平均風速為0.45m/s，而出風速度的均勻性應為平均風速的±15%。

b、FFU的機外余壓應≥120Pa，最好是140Pa以上。 c、FFU的單體噪聲應≤50dB(A)。因在單向流潔凈廠房中往往成百臺上千臺的FFU集中設在吊頂上，如果單體噪聲太高，則疊加噪聲就不能被接受。 d、斷面風速可調(diào)。智能化調(diào)節(jié)，變頻調(diào)節(jié)都是可行的。 e、FFU風機的壽命最少應大于50000小時。 對于大面積、高潔凈度的微電子和光電子的凈化廠房，使用大量的FFU時應注意，有可能會產(chǎn)生電流的諧波。諧波會影響用電的生產(chǎn)設備的使用。建議在供電線路上增設濾波器。

干冷盤管

干冷盤管是新風機組加干冷盤管加FFU空調(diào)凈化送風方案的潔凈廠房控制溫度的關鍵換熱設備，設置在潔凈廠房回風夾道的下部或上部。

對其性能要求如下：

a、 為了避免在系統(tǒng)正常運行時干冷盤管產(chǎn)生結露現(xiàn)象，因此通過干冷盤管的進水水溫要高于室內(nèi)空氣露點1°C~2°C。 b、 為了導走潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)啟動時產(chǎn)生的冷凝水，干冷盤管系統(tǒng)還要設置滴水盤和排水系統(tǒng)。 c、干冷盤管的排數(shù)最好為雙排，而且空氣通過時阻力不能太大，一般來說干冷盤管的空氣通過時阻力應小于40Pa，因此盤管鋁翅片的間距最好為3mm。 d、為了減少空氣通過盤管的阻力，通過盤管的風速應<2m/s。 e、干冷盤管的水管采用并聯(lián)方式聯(lián)接。 f、干冷盤管周圍的空隙應全部封閉，使循環(huán)空氣全部通過干冷盤管。

某電子廠房凈化空調(diào)安裝經(jīng)驗

空調(diào)形式選擇

以某電子廠房為例。該工程廠房為單層鋼結構，總建筑面積約14?500?m2?凈化空調(diào)面積6?880?m2(不含參觀走廊及輔助區(qū))。 根據(jù)工藝要求，潔凈區(qū)潔凈度分別為萬級、千級、百級，百級面積270?m2，千級面積?5?960?m2，萬級面積650?m2溫濕度要求為22士2?度和55%士5%,百級按照?面風速0.25m/s計算風量，千級和萬級的換氣次數(shù)則為80次/h和35次/h。

整個廠房分為3種凈化級別，分別為萬級、千級、百級，萬級區(qū)主要為鍍膜機室，千級區(qū)有絲印車間、模組/貼膜車間、千級高架區(qū)、千級未高架區(qū)，百級有鍍膜車間、絲網(wǎng)制作房。 其中，千級高架區(qū)、百級高架區(qū)、千級未高架區(qū)、百級未高架區(qū)均采用MAU?+?FFU?+?DC的空調(diào)形式，而絲印、模組、貼膜車間等千級區(qū)和鍍膜機室等萬級區(qū)則采用AHU+?FFU的空調(diào)形式。 MAj為新風機組，對新風實施了初效、中效、亞高效過濾，其功能段為新風、回風混合段、G4初效段、F8中效段、冷水盤管段、熱水盤管段、電極加濕段、風機段、均流段、H10亞高效段、送風段。 DC為干表冷盤管，在潔凈室的回風夾墻中設置干冷盤管，對潔凈室進行等濕降溫，所以通過干盤管的冷凍水溫度稍低于潔凈室的露點溫度，保證潔凈室空氣通過干盤管時不結露。 FFU為風機過濾器機組，在潔凈室的技術夾層布置?FFU?,將送進來的空氣通過FFU中的高效過濾器送到潔凈室內(nèi)。 AHU為凈化空調(diào)機組，全部的凈化空調(diào)送風均在凈化空調(diào)機組內(nèi)進行凈化和熱、濕處理，然后送至潔凈室，潔凈室的回風經(jīng)回風日、回風管再接回到空調(diào)機房的凈化空調(diào)機組，與新風混合后重復進行凈化和熱、濕處理。

MAU+FFU+DC的凈化空調(diào)送風方案

新風機組MAU將新風處理到潔凈室熱濕比線與相對濕度95%線的交點以下，不僅將本身的濕負荷去掉，還負擔潔凈室內(nèi)產(chǎn)生的濕負荷。 而MAj熱處理不足部分的干冷負荷將由設在潔凈室下夾層或吊頂上的干盤管來補充。 由于干盤管設在FFU循環(huán)空氣通過的吊頂上或夾道內(nèi)，因此，干盤管所彌補的干冷負荷被循環(huán)空氣帶到潔凈室內(nèi)。 此方案中，潔凈室的相對濕度由MAU來保證，潔凈室的溫度由DC來保證，潔凈室的潔凈度由FFU來保證。

AHU+FFU的凈化空調(diào)送風方案

此方案中，凈化空調(diào)系統(tǒng)的熱、濕負荷(潔凈室內(nèi)產(chǎn)生的熱、濕負荷及新風的熱、濕負荷)全部由設在空調(diào)機房內(nèi)的空調(diào)機組AHU來負擔。 AHU的送風量是消除本系統(tǒng)余熱、余濕的空調(diào)送風量(其中包括全部新風和部分回風，但遠遠小于保證潔凈室潔凈度等級的凈化送風量)，它應能確保潔凈室內(nèi)的溫度和相對濕度恒定。 而該潔凈室的潔凈度由設在潔凈室吊頂上的FFU來保證。 此方案中應該注意的是，F(xiàn)FU運行過程中所產(chǎn)生的熱量也應由AHU來承擔。

自動控制系統(tǒng)

本期工程 采用DDC控制系統(tǒng)，并且與機房總站連接，可以實現(xiàn)局部調(diào)控和機房總站對運行狀態(tài)的控制和觀測。 潔凈室中的干冷盤管共分為巧組，每一組采用一個比例積分閥控制，每組所對應的區(qū)域溫度采用多點檢測，采集多點的溫度，取平均PID值控制比例積分的開啟度，調(diào)節(jié)室內(nèi)溫度。 濕度也采用多點檢測控制，采集多點的濕度，取平均的PID值來控制新風機組或空調(diào)機組冷凍水電動比例積分閥的開啟度，或者控制電極加濕閥門的開啟度，從而將潔凈室的濕度控制在設計范圍內(nèi)。

新風機組和空調(diào)機組采用變頻控制，根據(jù)潔凈室實際使用情況，通過電動風閥的開與關，檢測風管內(nèi)的壓力參數(shù)，控制風機轉速，調(diào)整新風量，達到節(jié)約能源的目的。

來源：cleanroom、潔凈技術與應用、精亞潔凈工程 

免責聲明： 以上內(nèi)容源于網(wǎng)絡，版權歸原作者所有，如涉及作品版權問題，請您告知我們將及時處理！