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 齊岳B612 2021-03-24

隨著大功率和超大規(guī)模集成電路的發(fā)展,集成電路和基片間散熱的重要性也越來越明顯。因此,基片必須要具有高的導熱率和電阻率。為滿足這一要求,國內(nèi)外研究學者開發(fā)出了一系列高性能的陶瓷基片材料,其中主要包括:Al2O3BeO、AlNBN、Si3N4SiC,但是氮化鋁是綜合性能最優(yōu)良的新型先進陶瓷材料,被認為是新一代高集成度半導體基片和電子器件的理想封裝材料。

同時,氮化鋁粉體也是提高高分子材料熱導率和力學性能的最佳添加料,如環(huán)氧樹脂中加入氮化鋁粉體可以明顯提高其熱導率

氮化鋁陶瓷的優(yōu)異性能

目前,氮化鋁陶瓷已被廣泛應用于電子、冶金、機械、國防等各個領域,具有非常優(yōu)異的綜合性能,其主要表現(xiàn)為以下幾個方面:

1)熱導率高,是氧化鋁陶瓷的5~10倍,與氧化鈹陶瓷相當;

2)熱膨脹系數(shù)(4.3×10-6/)與半導體硅材料((3.5~4.0)×10-6/)匹配;

3)機械性能好,高于BeO陶瓷,接近氧化鋁;

4)電性能優(yōu)良,具有極高的絕緣電阻和低的介質(zhì)損耗;

5)可以進行多層布線,實現(xiàn)封裝的高密度和小型化;

6)無毒,有利于環(huán)保。

影響氮化鋁陶瓷性能的粉體因素

氮化鋁陶瓷產(chǎn)品的性能直接取決于原料粉體的特性,尤其是氮化鋁最有價值的特性——導熱性。影響氮化鋁陶瓷導熱性的因素主要有:氧及其它雜質(zhì)的含量、燒結的致密度、顯微結構等。而這些因素體現(xiàn)在氮化鋁粉體上則為:氮化鋁的純度、顆粒的粒徑、顆粒的形狀等參數(shù)上。

氧含量及其它雜質(zhì)的影響

氮化鋁對氧有很強的親和力。當?shù)X顆粒暴露于空氣中時,顆粒表面往往會自發(fā)形成Al2O3,部分氧還會固溶進入氮化鋁晶格,從而形成鋁空位。由于鋁空位會散射聲子,使聲子的散射截面增大,故而損害熱導率。因此,為了增加其熱導率,就必須嚴格地控制氧元素的含量。通常對氧含量的要求是小于1wt%

氧以外的其它雜質(zhì)(包含金屬雜質(zhì)與非金屬雜質(zhì))也會固溶在氮化鋁晶格中,導致氮化鋁產(chǎn)生缺陷,嚴重降低熱導率。據(jù)中國粉體網(wǎng)編輯的學習了解,一般情況下,氮化鋁粉體中包含Fe、MgCa等金屬雜質(zhì)的總含量需不超過500ppm,非金屬雜質(zhì),包含Si、C等的總含量應低于0.1wt%

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