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半導(dǎo)體無損檢測(cè)內(nèi)容

 芯片失效分析 2020-03-11

半導(dǎo)體無損檢測(cè)內(nèi)容

無損檢測(cè)分析

工程檢查/無損檢測(cè)無損檢測(cè)是在不損壞工件或原材料工作狀態(tài)的前提下,對(duì)被檢驗(yàn)部件的表面和內(nèi)部質(zhì)量進(jìn)行檢查的一種測(cè)試手段。

無損檢測(cè)方法

常用的無損檢測(cè)方法有:X光射線探傷、超聲波探傷、磁粉探傷、滲透探傷、渦流探傷、γ射線探傷、螢光探傷、著色探傷等方法。

無損檢測(cè)目地

通過對(duì)產(chǎn)品內(nèi)部缺陷進(jìn)行檢測(cè)對(duì)產(chǎn)品從以下方面進(jìn)行改進(jìn)。

1、改進(jìn)制造工藝;

2、降低制造成本;

3、提高產(chǎn)品的可靠性;

4、保證設(shè)備的安全運(yùn)行。

無損檢測(cè)項(xiàng)目

1:超聲波檢測(cè)

超聲波檢測(cè)的基本原理

超聲波檢測(cè)是利用超聲能透入金屬材料的深處,并由一截面進(jìn)入另一截面時(shí),在界面邊緣發(fā)生反射的特點(diǎn)來檢查零件缺陷的一種方法,當(dāng)超聲波束自零件表面由探頭通至金屬內(nèi)部,遇到缺陷與零件底面時(shí)就分別發(fā)生反射波來,在螢光屏上形成脈沖波形,根據(jù)這些脈沖波形來判斷缺陷位置和大小。

超聲波檢測(cè)的主要特性

1、超聲波在介質(zhì)中傳播時(shí),在不同質(zhì)界面上具有反射的特性,如遇到缺陷,缺陷的尺寸等于或大于超聲波波長時(shí),則超聲波在缺陷上反射回來,檢測(cè)儀可將反射波顯示出來;如缺陷的尺寸甚至小于波長時(shí),聲波將繞過射線而不能反射;

2、波聲的方向性好,頻率越高,方向性越好,以很窄的波束向介質(zhì)中輻射,易于確定缺陷的位置。

3、超聲波的傳播能量大,如頻率為1MHZ(100赫茲)的超生波所傳播的能量,相當(dāng)于振幅相同而頻率為1000HZ(赫茲)的聲波的100萬倍。

超生波檢測(cè)板厚14毫米時(shí),距離波幅曲線上三條主要曲線的關(guān)系

測(cè)長線 Ф1 х 6 -12dB

定量線 Ф1 х 6 -6dB

判度線 Ф1 х 6 -2dB 

2:射線檢測(cè)

射線檢測(cè)原理:射線檢測(cè)是利用 X射線或γ射線在穿透被檢物各部分時(shí)強(qiáng)度衰減的不同,檢測(cè)被檢物中缺陷的一種無損檢測(cè)方法。

特點(diǎn)特色

射線照相法能較直觀地顯示工件內(nèi)部缺陷的大小和形狀,因而易于判定缺陷的性質(zhì),射線底片可作為檢驗(yàn)的原始記錄供多方研究并作長期保存。但這種方法耗用的X射線膠片等器材費(fèi)用較高,檢驗(yàn)速度較慢,只宜探查氣孔、夾渣、縮孔、疏松等體積性缺陷,而不易發(fā)現(xiàn)間隙很小的裂紋和未熔合等缺陷以及鍛件和管、棒等型材的內(nèi)部分層性缺陷。此外,射線對(duì)人體有害,需要采取適當(dāng)?shù)姆雷o(hù)措施。

3:磁粉檢測(cè)

磁粉檢測(cè)原理:磁粉檢測(cè)是用來檢測(cè)鐵磁性材料表面和近表面缺陷的一種檢測(cè)方法。當(dāng)工件磁化時(shí),若工件表面有缺陷存在,由于缺陷處的磁阻增大而產(chǎn)生漏磁,形成局部磁場(chǎng),磁粉便在此處顯示缺陷的形狀和位置,從而判斷缺陷的存在。

磁粉檢測(cè)種類

1、按工件磁化方向的不同,可分為周向磁化法、縱向磁化法、復(fù)合磁化法和旋轉(zhuǎn)磁化法。

2、按采用磁化電流的不同可分為:直流磁化法、半波直流磁化法、和交流磁化法。

3、按檢測(cè)所采用磁粉的配制不同,可分為干粉法和濕粉法。

4:滲透檢測(cè)

1、著色(滲透)檢測(cè)的基本原理

著色(滲透)檢測(cè)的基本原理是利用毛細(xì)現(xiàn)象使?jié)B透液滲入缺陷,經(jīng)清洗使表面滲透液支除,而缺陷中的滲透殘留,再利用顯像劑的毛細(xì)管作用吸附出缺陷中殘留滲透液而達(dá)到檢驗(yàn)缺陷的目的。

2、著色(滲透)檢測(cè)靈敏度的主要因素

1、滲透劑的性能的影響。

2、乳化劑的乳化效果的影響。

3、顯像劑性能的影響。

4、操作方法的影響。

5、缺陷本身性質(zhì)的影響。


無損檢測(cè)服務(wù)流程

客戶檢測(cè)要求───快速:辦公室人員回復(fù)咨詢,必要時(shí),組織各科室技術(shù)及工程師參與 。

填寫申請(qǐng)表───規(guī)范:準(zhǔn)確填寫申請(qǐng)表、簽訂檢測(cè)協(xié)議,完成檢測(cè)前準(zhǔn)備工作。

進(jìn)行試驗(yàn)檢測(cè)───準(zhǔn)備:嚴(yán)格遵守各科室操作規(guī)范對(duì)樣品進(jìn)行檢測(cè) 。

簽發(fā)檢測(cè)報(bào)告───負(fù)責(zé):嚴(yán)格遵守報(bào)告審核程序,保證數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確。

存檔、留樣───服務(wù):對(duì)客戶建檔,針對(duì)檢測(cè)需求,進(jìn)行持續(xù)跟蹤,以客戶需求為己任。

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