7月1日,日本政府宣布將韓國移除對外貿易白名單,韓國進口日本公司的三種原材料——光刻膠、氟化聚酰亞胺和氟化氫需要提前90天申請,這些材料是生產(chǎn)柔性屏面板、半導體芯片的重要原料,而這兩個行業(yè)又是韓國的經(jīng)濟支柱。 隨后在8月8日,日本批準了向韓國出口EUV光刻膠,這種材料用于芯片生產(chǎn),幫助廠商在硅晶上繪制芯片,該材料對于三星而言至關重要。 現(xiàn)在,第二種關鍵材料的貿易許可也來了。8月30日,據(jù)外媒報道,日本已批準向三星出口氟化氫,氟化氫是蝕刻和清洗晶圓的關鍵材料,三星能在明年年初用到這種材料。 高純度的電子級氟化氫是氟精細化學品的一種,在半導體制造工藝中主要用于去除膜沉積后粘附在化學氣相沉積爐內的不必要化學物質、等離子刻蝕、光刻膠圖案化之后的蝕刻細槽或孔等流程。 據(jù)報道韓國以及中國的半導體廠商一直都從日本進口即買即用的氟化氫。日本的氟化氫真的就比中國產(chǎn)的好么?有業(yè)內人士評論,全世界制造佛化氫的工廠都是99.99%純度,用于蝕刻是夠用的,日本產(chǎn)的氟化氫純度更高,能在小數(shù)點后面多幾個9。另外由于日本目前是氟化氫最大供應國,產(chǎn)能高,價格便宜,而能用到氟化氫的半導體制造企業(yè)數(shù)量并不多,所以習慣上都是用日本的。 |
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