來源:國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局專利局復(fù)審和無效審理部網(wǎng)站 【案情介紹】 請(qǐng)求人維易科精密儀器國(guó)際貿(mào)易(上海)有限公司(下稱維易科公司)就專利權(quán)人中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司(下稱中微公司)的ZL201220056049.5號(hào)實(shí)用新型專利權(quán)提出無效宣告請(qǐng)求。本案專利涉及化學(xué)氣相沉積(CVD)裝置,特別涉及金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積(MOCVD)裝置。 【案件解讀PPT】 【案件評(píng)析】 (來源:中國(guó)知識(shí)產(chǎn)權(quán)報(bào) 作者單位:國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局專利局復(fù)審和無效審理部 趙鍇 劉彤 任穎麗) 評(píng)析“化學(xué)氣相沉積裝置”實(shí)用新型專利權(quán)無效宣告請(qǐng)求案 ——發(fā)明構(gòu)思的把握在新穎性、創(chuàng)造性評(píng)判中的作用 針對(duì)請(qǐng)求人維易科精密儀器國(guó)際貿(mào)易(上海)有限公司就專利權(quán)人中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司的實(shí)用新型專利權(quán)(專利號(hào):ZL201220056049.5)提出的無效宣告請(qǐng)求,國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局原專利復(fù)審委員會(huì)經(jīng)審理作出審查決定,在修改后的權(quán)利要求書的基礎(chǔ)上維持專利權(quán)有效。 該案中,雙方的主要爭(zhēng)議焦點(diǎn)在于新穎性、創(chuàng)造性的判斷,具體包括權(quán)利要求的技術(shù)方案與現(xiàn)有技術(shù)是否相同,以及現(xiàn)有技術(shù)的不同方案間是否存在相互結(jié)合的技術(shù)啟示。筆者從發(fā)明構(gòu)思的角度對(duì)上述焦點(diǎn)進(jìn)行分析,希望能對(duì)新穎性、創(chuàng)造性的判斷思路有所啟發(fā)。 正確理解發(fā)明的前提 “發(fā)明”是發(fā)明人為解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題而采取的技術(shù)改進(jìn)思想或技術(shù)構(gòu)思。對(duì)于一項(xiàng)發(fā)明創(chuàng)造而言,技術(shù)問題是發(fā)明創(chuàng)造的起因,技術(shù)效果是發(fā)明創(chuàng)造的結(jié)果,技術(shù)手段是解決技術(shù)問題實(shí)現(xiàn)技術(shù)效果的具體過程。技術(shù)問題、技術(shù)手段和技術(shù)效果作為發(fā)明三要素,統(tǒng)一于發(fā)明這一有機(jī)整體,構(gòu)成了發(fā)明創(chuàng)造的核心,體現(xiàn)了發(fā)明構(gòu)思。盡管在專利文件中,技術(shù)方案是通過一個(gè)個(gè)技術(shù)特征這種外在形式來呈現(xiàn)的,但蘊(yùn)含于這些技術(shù)特征背后的發(fā)明構(gòu)思才是一項(xiàng)技術(shù)方案的靈魂和本質(zhì)。因此,無論是在理解發(fā)明,還是在進(jìn)行新穎性、創(chuàng)造性判斷時(shí),把握發(fā)明構(gòu)思這一技術(shù)本質(zhì)才是正確理解和判斷的前提和基礎(chǔ)。準(zhǔn)確把握發(fā)明構(gòu)思,需要站在本領(lǐng)域技術(shù)人員的立場(chǎng)上,基于專利文件依次尋找如下3個(gè)問題的答案:第一,了解起因——技術(shù)問題從何而來?第二,了解起因與結(jié)果間的橋梁——技術(shù)改進(jìn)手段是什么?第三,把握結(jié)果——技術(shù)效果因何而就?下面,筆者就以上述案件為例,對(duì)如何把握發(fā)明構(gòu)思進(jìn)行闡述。 該案涉及的是一種用于制造半導(dǎo)體芯片的氣相沉積裝置,該裝置中包括旋轉(zhuǎn)的主軸和隨之轉(zhuǎn)動(dòng)的托盤。在工作時(shí),芯片放置在托盤上,并由托盤帶動(dòng)其進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng),同時(shí)通過氣相沉積工藝在芯片表面沉積外延層。半導(dǎo)體芯片的高度精密性對(duì)于托盤轉(zhuǎn)動(dòng)的平穩(wěn)性和精度有著極高要求。涉案專利就是對(duì)于主軸和托盤之間連接方式的改進(jìn)。 現(xiàn)有技術(shù)中托盤和轉(zhuǎn)軸之間常用的連接方式有兩種,一種為固定連接,另一種為摩擦面連接。其中,固定連接是托盤和轉(zhuǎn)軸通過螺釘?shù)确绞接谰霉潭ㄟB接,這種連接方式能夠較為有利地增加兩者之間的牢固性,保證了托盤在轉(zhuǎn)動(dòng)過程中的穩(wěn)定度,但存在安裝過程中要求部件高精度、后續(xù)維修更換相關(guān)部件困難的技術(shù)問題;摩擦面連接是轉(zhuǎn)軸與基片托盤間通過一個(gè)帶狀的摩擦接觸面進(jìn)行連接,這樣可以保證在轉(zhuǎn)軸高速旋轉(zhuǎn)時(shí)整個(gè)基片托盤會(huì)自發(fā)地調(diào)整成水平狀態(tài),但該方式存在著在旋轉(zhuǎn)加速和減速過程中基片托盤和轉(zhuǎn)軸容易發(fā)生相對(duì)位移,從而無法精確判斷托盤旋轉(zhuǎn)位置的技術(shù)問題。涉案專利正是基于這樣的技術(shù)問題作出的改進(jìn)。 涉案專利解決上述技術(shù)問題所采取的技術(shù)手段是在摩擦面連接的基礎(chǔ)上,增加了同步運(yùn)動(dòng)配合結(jié)構(gòu),即設(shè)置突出部和與之配合的凹陷部,在整個(gè)工作過程中,依靠摩擦力驅(qū)動(dòng)托盤運(yùn)動(dòng),由設(shè)置的同步運(yùn)動(dòng)配合結(jié)構(gòu)避免突發(fā)情況導(dǎo)致的托盤與轉(zhuǎn)軸之間的相對(duì)位移,由此提高對(duì)托盤位置的精確控制。通過這樣的連接方式,既能實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)中對(duì)基片托盤的自平衡,也能防止基片托盤和轉(zhuǎn)軸之間相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng),從而達(dá)到了預(yù)期技術(shù)效果。 準(zhǔn)確把握評(píng)判的基礎(chǔ) 在進(jìn)行新穎性、創(chuàng)造性評(píng)判時(shí),將技術(shù)方案與現(xiàn)有技術(shù)進(jìn)行對(duì)比是這一評(píng)判的必經(jīng)步驟,對(duì)比的方式往往是將二者的技術(shù)特征一一進(jìn)行比較,這是在實(shí)踐中易于操作也較為直觀的操作方式。但在審查實(shí)踐中,這種作法往往無法準(zhǔn)確地反映發(fā)明構(gòu)思的實(shí)際過程,也難以客觀衡量發(fā)明的實(shí)際貢獻(xiàn)。究其原因,主要在于技術(shù)特征文字本身更多地體現(xiàn)了技術(shù)手段,而技術(shù)手段需結(jié)合其背后蘊(yùn)含的技術(shù)問題和技術(shù)效果才能體現(xiàn)發(fā)明的本質(zhì)。因此,倘若在進(jìn)行技術(shù)特征對(duì)比時(shí),能夠從發(fā)明構(gòu)思的角度對(duì)技術(shù)方案和現(xiàn)有技術(shù)進(jìn)行分析比較,找出二者在發(fā)明構(gòu)思上的區(qū)別,再精確定位出二者的區(qū)別是通過哪些技術(shù)特征來體現(xiàn)的,由此將更有助于判斷技術(shù)方案與現(xiàn)有技術(shù)之間的異同。 以本案為例,請(qǐng)求人使用的主要現(xiàn)有技術(shù)為證據(jù)1,該證據(jù)為一篇專利文獻(xiàn),其針對(duì)的改進(jìn)起點(diǎn)是固定連接方式,要解決的是安裝過程中要求部件高精度、后續(xù)維修更換相關(guān)部件困難的技術(shù)問題,其采取的技術(shù)手段是在托盤和轉(zhuǎn)軸之間采用可分離的連接方式,在安裝過程中,將托盤放置在轉(zhuǎn)軸之上即可。為了滿足后續(xù)的旋轉(zhuǎn)需求,證據(jù)1給出了兩種具體實(shí)施方式:方案一,在托盤和轉(zhuǎn)軸之間設(shè)置獨(dú)立保持裝置,該獨(dú)立保持裝置具體體現(xiàn)為設(shè)置凹口和與之配合的凸起件或指狀件;方案二,在托盤和轉(zhuǎn)軸的接觸部位設(shè)置相配合的摩擦帶,可以使轉(zhuǎn)軸在摩擦力的作用下驅(qū)動(dòng)托盤轉(zhuǎn)動(dòng),這也是證據(jù)1優(yōu)選的實(shí)施方式。 請(qǐng)求人欲使用上述方案一來評(píng)價(jià)涉案專利的新穎性,并認(rèn)為由于轉(zhuǎn)軸與托盤之間存在接觸,因此方案一也必然存在摩擦力的作用。 從涉案專利與證據(jù)1的技術(shù)特征和附圖來看,二者的連接方式確有相近之處,其傳動(dòng)方式似乎也是相同的,但從二者的發(fā)明構(gòu)思角度來分析,則很容易凸顯出二者的區(qū)別。涉案專利的發(fā)明構(gòu)思是采用同步運(yùn)動(dòng)配合結(jié)構(gòu),來解決摩擦傳動(dòng)過程中轉(zhuǎn)軸和托盤之間發(fā)生相對(duì)位移的問題。正常轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),轉(zhuǎn)軸依靠摩擦力帶動(dòng)托盤旋轉(zhuǎn),同步運(yùn)動(dòng)配合結(jié)構(gòu)不起作用;急起、急停等特殊情況下,同步運(yùn)動(dòng)配合結(jié)構(gòu)才會(huì)產(chǎn)生作用,保證轉(zhuǎn)軸和托盤之間不發(fā)生相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)。方案一的發(fā)明構(gòu)思則是采用接觸傳動(dòng)這種可分離連接的方式,來克服以往固定連接的缺陷,而完全沒有提及摩擦問題。從其轉(zhuǎn)軸頂部的形狀可以看出,它并不包括摩擦帶,轉(zhuǎn)軸和托盤之間雖有接觸,但它們之間的摩擦力僅僅是兩個(gè)相互接觸的部件在接觸時(shí)所產(chǎn)生的不可避免的摩擦,這個(gè)摩擦力與本專利中能夠帶動(dòng)托盤運(yùn)動(dòng)的摩擦力完全不同,它不足以維持托盤隨轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng),因此方案一才要設(shè)置獨(dú)立保持裝置使轉(zhuǎn)軸帶動(dòng)托盤轉(zhuǎn)動(dòng),并且在轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),獨(dú)立保持裝置要時(shí)刻發(fā)揮作用。由此可知,在二者方案中雖然均存在類似凸起指狀件的結(jié)構(gòu),但二者在轉(zhuǎn)軸帶動(dòng)托盤運(yùn)動(dòng)的過程中所起作用并不相同,方案一的傳動(dòng)方式也并非摩擦傳動(dòng),因此涉案專利權(quán)利要求中體現(xiàn)摩擦傳動(dòng)的技術(shù)特征可以構(gòu)成二者的區(qū)別,即方案一并未公開“通過基片托盤和旋轉(zhuǎn)軸頂部之間的摩擦力使所述基片托盤圍繞所述旋轉(zhuǎn)軸的中心軸線轉(zhuǎn)動(dòng)”這一技術(shù)特征。 此外,請(qǐng)求人還認(rèn)為證據(jù)1方案一和二的結(jié)合可能破壞涉案專利的創(chuàng)造性。 與前述進(jìn)行技術(shù)特征對(duì)比時(shí)類似,在判斷不同方案間是否存在結(jié)合啟示時(shí),從發(fā)明構(gòu)思的角度進(jìn)行審視,還可確保在判斷時(shí)將發(fā)明作為一個(gè)整體進(jìn)行考量,即不僅考慮技術(shù)手段本身,還要關(guān)注其解決的技術(shù)問題和所實(shí)現(xiàn)的技術(shù)效果,這樣更容易判斷出不同方案間是否存在結(jié)合的障礙,從而在一定程度上避免了主觀因素的影響。 同樣以該案為例,若僅從技術(shù)手段的角度來看,方案一和二組合后似乎能得到涉案專利的技術(shù)方案,但從發(fā)明構(gòu)思的角度來看,雖然二者均具有采用接觸傳動(dòng)這種可分離連接的方式來克服以往固定連接的缺陷這一整體發(fā)明構(gòu)思,但在具體傳動(dòng)方式上兩種方案遵循著不同的技術(shù)思路。方案一采用了獨(dú)立保持裝置用于使轉(zhuǎn)軸帶動(dòng)托盤轉(zhuǎn)動(dòng),但該方式在急停時(shí)主軸將承受較大的應(yīng)力;而方案二采用了摩擦傳動(dòng)的方式,該方式的目的在于將機(jī)械慣量減到最小,從而在設(shè)備急停過程中,當(dāng)托盤的慣性超過它與轉(zhuǎn)軸之間的摩擦力時(shí),托盤可獨(dú)立于轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn),從而減小轉(zhuǎn)軸應(yīng)力。由此,方案一和方案二分別采取了兩種并列的、不同的驅(qū)動(dòng)方式,且這兩種方式在轉(zhuǎn)軸應(yīng)力這一證據(jù)1聚焦關(guān)注的技術(shù)問題上是相互矛盾的,如果在方案二摩擦傳動(dòng)的基礎(chǔ)上再設(shè)置獨(dú)立保持裝置,則無法實(shí)現(xiàn)減少主軸應(yīng)力的目的,因此在該案中,現(xiàn)有技術(shù)沒有給出將摩擦傳動(dòng)和接觸傳動(dòng)兩種驅(qū)動(dòng)方式進(jìn)行結(jié)合的技術(shù)啟示。 由上述分析可以看出,正確把握發(fā)明構(gòu)思,了解發(fā)明創(chuàng)造產(chǎn)生的過程以及各技術(shù)特征或技術(shù)手段在發(fā)明中所起的作用,有助于客觀看待發(fā)明的技術(shù)方案,這既是準(zhǔn)確理解發(fā)明的前提,也是客觀、公正地進(jìn)行新穎性、創(chuàng)造性評(píng)判的基礎(chǔ)和保障。 -End- |
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