正始十年（公元249年）正月，司馬懿乘大將軍曹爽陪小皇帝曹芳去京城以南的高平陵祭祀魏明帝曹睿之機(jī)，以迅雷不及掩耳之勢(shì)發(fā)動(dòng)政變。他調(diào)集敢死勁卒三千人控制了洛京，親自率部據(jù)守洛水浮橋，扼制住各條要道，同時(shí)逼迫太后發(fā)布詔書，聲討曹爽罪行。

司馬懿冒險(xiǎn)成功了，無(wú)謀無(wú)勇、不敢絕地反擊、背水一戰(zhàn)的曹爽被迫交出了兵權(quán)。曹爽交權(quán)的目的是想以此換取在洛陽(yáng)眷屬的平安以及保證其身家性命不受侵害。不久，老謀深算、陰狠毒辣的司馬懿出爾反爾， 一舉誅殺了主動(dòng)投降的曹爽，為斬草除根還將其家族的男女老幼、親信黨羽數(shù)千人誅戮殆盡。史稱“高平陵事變”。

史載，司馬懿外寬而內(nèi)忌，善于韜光養(yǎng)晦、耍弄權(quán)術(shù)。誅滅曹爽集團(tuán)時(shí)，其嗜血?dú)埍┑谋拘燥@露無(wú)疑，舉凡曹氏三族、親信黨羽、門生故吏的三族都不能幸免。男女老幼、甚至姑表姐妹早已嫁人的，也全在斬首之列。據(jù)記載被殺者多達(dá)七千余人。
高平陵事變后，曹魏政權(quán)實(shí)際上已經(jīng)逐漸被司馬氏所掌控。兩年后，七十一歲的司馬懿故去，其子司馬師、司馬昭兄弟倆相繼執(zhí)政。在這段時(shí)間內(nèi)，忠于曹魏的內(nèi)外重臣、特別是一些由曹操栽培、攫拔的文武官員接二連三起兵反抗，但先后都被司馬氏調(diào)集重兵給鎮(zhèn)壓了下去。

司馬懿死后，司馬師廢黜掉曹芳，改立高貴鄉(xiāng)公曹髦為帝。

早在司馬懿還活著時(shí)，一些忠于曹魏的將領(lǐng)就曾起兵反對(duì)他，可惜都沒成功。

譬如齊王（曹芳曾封齊王）十二年，都督揚(yáng)州諸軍事的王凌就秘密聚集力量以反攻司馬懿，然而事機(jī)不密，被司馬懿偵知，遂率軍隊(duì)出其不意地發(fā)起進(jìn)攻。王凌措手不及，只得倉(cāng)促應(yīng)戰(zhàn)。司馬懿擒獲王凌后，把他送回洛陽(yáng)，王凌在路上服毒自盡了。

也在這一年，司馬懿病歿，其子司馬師接了他的班。到齊王十五年，中書令李豐，張皇后的父親張緝，又密謀策劃干掉司馬師，再將曹爽的姑表兄弟夏侯玄扶上位代替他。又因事情敗露，都被司馬師給殺害了。司馬師很惱火，干脆廢黜掉齊王曹芳，改立魏文帝曹丕的曾孫高貴鄉(xiāng)公曹髦為帝。

次年，揚(yáng)州都督毋丘儉 、揚(yáng)州刺史文欽起兵反對(duì)司馬師。司馬師親率大軍前去討伐，和毋丘儉 、文欽的軍隊(duì)對(duì)峙、相持。因兵力單薄，毋丘儉軍大敗虧輸，二人乘亂逃逸，毋丘儉在逃亡路上死于亂軍中，文欽逃奔吳國(guó)。

在平定毋丘儉之亂時(shí)，司馬師本已有傷在身，因關(guān)系重大，不得已帶傷親征。得勝后，剛一班師回到許昌就死了。他的弟弟司馬昭接替其位。

兩年后，新繼任的揚(yáng)州刺史諸葛誕（諸葛亮族弟）又起兵討伐司馬昭。這一次，諸葛誕吸取了以往兩次起事的失敗教訓(xùn)，他知道司馬昭權(quán)力已穩(wěn)固、兵雄勢(shì)大，不容易憑武力戰(zhàn)勝他，所以事先暗中和東吳取得聯(lián)系，爭(zhēng)取外援，并采取守勢(shì)，堅(jiān)守不戰(zhàn)。

東吳派降將文欽率軍前去增援他，還另外派兵以為呼應(yīng)。諸葛誕有了依靠，堅(jiān)定了守城的信心，司馬昭費(fèi)了很大力氣才將諸葛誕包圍起來(lái)，又分兵堵截住了東吳援軍。依靠人多勢(shì)眾，居然一舉攻克壽春。諸葛誕與文欽有矛盾，突圍時(shí)竟乘亂襲殺文欽，僅率數(shù)騎逃出壽春，途中被（曹魏，西晉將領(lǐng)）大將軍胡奮的部屬擊殺。之后，司馬昭下令將諸葛誕三族盡誅。

壽春被攻破后，諸葛誕的親信部屬三百多人全部被俘，無(wú)一人愿降，最后全部引頸就戮。從此以后，忠于曹魏的文武官員就再也沒有人敢于起兵對(duì)抗司馬氏集團(tuán)了。

司馬昭在平定了諸葛誕的反叛后，殺害了鋌而走險(xiǎn)、率衛(wèi)士與宦官攻擊自己的曹髦，立曹奐為帝，軍政大權(quán)完全集中在司馬昭的手上。之后，司馬昭出兵滅蜀 。公元265年，司馬昭的兒子司馬炎廢掉了曹奐，改國(guó)號(hào)為晉，定都洛陽(yáng)，改歷法，大封群臣，建立起一個(gè)新王朝——（西）晉。十五年后，晉軍攻滅東吳。這段歷史被稱作“三國(guó)歸晉”。