真空泵
vacuum pump
利用機(jī)械、物理、化學(xué)、物理化學(xué)等方法對(duì)容器進(jìn)行抽
氣，以獲得和維持真空的裝置。真空泵和其他設(shè)備（如真空容器、真空閥、真空測(cè)量?jī)x表、連接管路等）組成真空系統(tǒng)，廣泛應(yīng)用于電子、冶金、化工、食品、機(jī)械、醫(yī)藥、航天等部門。
按其工作原理，基本上分為氣體輸送泵和氣體捕集泵兩種類型。
氣體輸送泵包括：1、液環(huán)真空泵（水環(huán)真空泵）2、往復(fù)式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑閥式真空泵6、余擺線真空泵7、干式真空泵8、羅茨真空泵9、分子真空泵10、牽引分子泵11、復(fù)合式真空泵12、水噴射真空泵13、氣體噴射泵14、蒸汽噴射泵15、擴(kuò)散泵等
氣體捕集泵包括：吸附泵和低溫泵等。
目前工業(yè)中應(yīng)用最多的是水環(huán)式真空泵和旋片式真空泵等。